WooilFlucon FW6600 數(shù)字式氣體流量調(diào)節(jié)計(jì) 流量調(diào)節(jié)數(shù)字氣體流量計(jì) MEMS傳感器流量測(cè)量 流量精密控制 半導(dǎo)體設(shè)備流量測(cè)量

FW 6600 數(shù)字式氣體流量調(diào)節(jié)計(jì)

產(chǎn)品類(lèi)型

流量調(diào)節(jié)數(shù)字氣體流量計(jì)

規(guī)格書(shū)

[DigitalFlowMeter-FW6600.pdf]

產(chǎn)品說(shuō)明

采用?MEMS傳感器?進(jìn)行流量測(cè)量

特點(diǎn)

  • 適用于?Air（空氣）、N?、O?、Ar、CO??等氣體

  • 內(nèi)置閥門(mén)型

  • 配備用于流量調(diào)節(jié)的?針閥（Needle Valve）

  • 支持流量水平監(jiān)控的?報(bào)警輸出

  • 可定制?用戶(hù)指定流量測(cè)量范圍

  • 電源：3.6 ~ 24V DC（50mA）

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體設(shè)備及研究設(shè)備的氣體管路

  • 通過(guò)自帶針閥實(shí)現(xiàn)?流量精密控制

  • 適用于?小型實(shí)驗(yàn)室?等公用設(shè)施流量測(cè)量

  • 各類(lèi)?檢測(cè)設(shè)備的采樣管路?流量測(cè)量及控制

  • 微生物、化學(xué)、制藥?等高純度流體應(yīng)用領(lǐng)域

技術(shù)規(guī)格

  • 適用氣體：Air、N?、O?、Ar、CO?

  • 流量范圍：

    • Air、N?、O?、Ar：1、2、5、10、20、50、70 SLPM（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）

    • CO?：1、2、5、10、20、40 SLPM

  • 精度：±2.0% F.S

  • 重復(fù)性：0.5% F.S

  • 工作溫度：-10 ~ +55℃

  • 最大耐壓：1.0MPa

  • 電源供應(yīng)：3.6 ~ 24V DC（50mA），鋰電池?ER14250

  • 數(shù)字輸出：RS485 Modbus（半雙工）


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