WooilFlucon FVMT2120 高純手動隔膜閥 超純流體控制 微流量控制 整體PFA流道結構 增強型PTFE隔膜 顯影液/刻蝕液控制

FVMT 2120 高純手動隔膜閥

核心規(guī)格參數(shù)

參數(shù)類別標準模式(PP材質(zhì))高溫模式(PPS材質(zhì))技術亮點
通徑尺寸?6mm?6mm納米級流道拋光
流量系數(shù)Cv=0.35Cv=0.28壓損降低48%
工作溫度5~80℃5~120℃瞬時耐溫150℃
工作壓力0~0.5MPa0~0.3MPa爆破壓力2.0MPa
反向耐壓0~0.5MPa0~0.2MPa零泄漏設計
表面處理Ra≤0.1μmRa≤0.08μm超越SEMI F57標準

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

  1. 超純流體控制

  • 整體PFA流道結構(金屬含量<0.05ppb)

  • 通過FDA 21 CFR 177.2600認證

  • DI水超聲波清洗+真空包裝

  1. 軍工級可靠性

  1. 精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)

  • 1/8圈精密調(diào)節(jié)機構

  • 帶可視流量刻度窗

  1. 全球認證

  • CE/UL/SEMI F57

  • ASME BPE-2019

典型應用場景

選型建議

  1. 腐蝕性介質(zhì)

  • 推薦配置:紅寶石閥座+鉭金屬彈簧

  • 啟用”化學增強模式”

  1. 無菌環(huán)境

  • 選擇電拋光版本(Ra≤0.05μm)

  • 配套蒸汽滅菌功能

  1. 微流量控制

  • 加裝層流適配器

  • 選用精密調(diào)節(jié)手柄


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