FVAT 2130 氣動隔膜閥
產品核心優(yōu)勢
FVAT 2130是專為3/8″工業(yè)管路設計的高性能氣動隔膜閥，采用全氟化流道和軍工級PTFE隔膜，通過1000萬次機械壽命測試，滿足半導體和生物制藥領域對超凈流體的嚴苛控制需求。
技術參數(shù)詳情
| 關鍵指標 | 標準工況 | 高溫工況 | 技術突破 |
|---|---|---|---|
| 通徑尺寸 | ?6mm | ?6mm | 流體效率提升40% |
| 流量系數(shù)(Cv) | 0.8 | 0.65 | 壓損降低55% |
| 工作溫度 | 5~80℃ | 5~120℃ | 瞬時耐溫150℃ |
| 正向工作壓力 | 0~0.5MPa | 0~0.3MPa | 爆破壓力2.0MPa |
| 反向工作壓力 | 0~0.3MPa | 0~0.2MPa | 零泄漏設計 |
| 驅動氣壓 | 0.4~0.6MPa | 0.4~0.6MPa | 低功耗設計(＜3W) |
| 響應時間 | NC型≤60ms | NO型≤90ms | 行業(yè)領先水平 |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.1μm | Ra≤0.08μm | 超越SEMI F57標準 |
核心特點
超凈材料系統(tǒng)
全PFA流道結構（耐98%硫酸/49%氫氟酸）
納米增強PTFE隔膜（通過FDA 21 CFR 177.2600認證）
智能控制系統(tǒng)
三色LED狀態(tài)指示（紅/黃/綠）
可選配IoT模塊（支持4G遠程監(jiān)控）
軍工級可靠性
加速壽命測試等效15年使用
專利防結晶設計（適用于CMP漿料）
行業(yè)應用方案
| 應用領域 | 解決方案 |
|---|---|
| 半導體濕法設備 | 特氟龍涂層流道（金屬含量＜0.05ppb） |
| LCD刻蝕線 | 鉭金屬彈簧組件（耐強酸強堿） |
| 疫苗生產 | 全焊接無菌結構（可在線蒸汽滅菌） |
| 光伏制絨 | 高頻響應版本（切換速度達20Hz） |
選型指南
腐蝕性介質選配
必選：紅寶石閥座+哈氏合金彈簧
推薦：啟用”化學增強模式”
無菌環(huán)境要求
選擇三重電拋光版本
配套提供生物相容性報告
高頻應用場景
加裝氣動加速器
選用碳化硅導向組件
