采用Teflon和PVC等耐火樹脂,適用于各種化學和DI water使用的大流量流量計。
-容量高達100L/min(以水為基準)
-卓越的耐化學性
–測定液體流量,如DI Water、Chemical等
-安裝用于調節(jié)流量的近電壓
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-前后都可進行panel mounting
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進行超聲波清洗,在clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝
-半導體Wet process設備的大流量DI water,化學補給線
-化學供應鏈系統(tǒng)的流量測量
-流量測量和用自近鄰精確控制流量
-測量小型研究所等實用程序的流量
-微生物、化學、醫(yī)學等高純度流體使用領域
-應用流體:液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:Water – Min 50LPM/Max 100LPM
-測量誤差:3%全比例
-使用壓力:Max 8bar
-使用溫度:Max 0 ~ 60℃