測溫晶圓(集成熱電偶、鍵合晶圓或RTD溫度傳感器)主要應用于需要精確監(jiān)測和控制晶圓表面溫度的半導體加工設備。
Thermo Electric公司的測溫晶圓被廣泛應用于多個工業(yè)領域,包括:
快速熱處理(RTP)
快速熱退火(RTA)
曝光后烘烤(PEB)
化學氣相沉積(CVD)
物理氣相沉積(PVD)
離子注入
太陽能電池
以及其他熱驅動工藝
Thermo Electric擁有專業(yè)技術和經驗,可在多種基底材料上設計和安裝熱電偶傳感器,包括:
硅
鋁鈦碳(AlTiC)
玻璃
陶瓷
客戶提供的裸片、鍍膜或圖形化基底
同時提供其他定制基底材料、形狀和尺寸的服務。