Thermo Electric 晶圓傳感器

Thermo Electric 晶圓傳感器

Thermo Electric設(shè)計和制造溫度測量解決方案,保證為您提供靈敏度高、響應(yīng)快、準確性一致且傳感器之間具有最大的一致性。Thermo Electric致力于按時交付其創(chuàng)新的儀器化晶圓解決方案,并提供世界一流的技術(shù)服務(wù)。

Thermo Electric 晶圓傳感器溫度范圍: 低溫:-150 到 700°C 高溫:-150 到 1200°C

熱電偶可選(準確度):

  • Type K: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,372°C
  • Type N: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,300°C
  • Type E: (±1.0°C or 0.4%) Range -270 to 1,000°C
  • Type T: (±0.5°C or 0.4%) Range -270 to 400°C
  • Type R/S: (±1.5°C or 0.25%) Range -50 to 1,768°C

基板尺寸可選:50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm

Thermo Electric公司的測溫晶圓被廣泛應(yīng)用于多個工業(yè)領(lǐng)域,包括:
快速熱處理(RTP)
快速熱退火(RTA)
曝光后烘烤(PEB)
化學(xué)氣相沉積(CVD)
物理氣相沉積(PVD)
離子注入
太陽能電池
以及其他熱驅(qū)動工藝

 


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