用于 CVD 工藝的熱處理爐 化學(xué)氣相沉積工藝爐 CVD涂層 CVD涂層剝離

如今,燃?xì)廨啓C(jī)已廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域:

除了用于飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)等移動(dòng)設(shè)備外,也用于船舶(甚至是汽車)中,如今在電站領(lǐng)域的固定式燃?xì)廨啓C(jī)中也已成為不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。
為了實(shí)現(xiàn)更高的熱效率,這些燃?xì)廨啓C(jī)需要在極高溫度下運(yùn)行,這就要求對(duì)渦輪葉片進(jìn)行涂層處理。在葉片進(jìn)行維修時(shí),需先去除原有涂層,待維修完成后再重新涂覆。

SYSTHERMS 提供的爐體系統(tǒng),既適用于 CVD 涂層處理,也可用于去除這些涂層(剝離)。


攜手共贏:

您掌握工藝,我們提供設(shè)備

無(wú)論是涂層還是剝離工藝過(guò)程控制均由客戶決定,相關(guān)工藝參數(shù)屬于您的技術(shù)機(jī)密,我們完全尊重。


CVD 工藝爐

SYSTHERMS 會(huì)根據(jù)您的工藝需求,量身定制熱處理爐系統(tǒng)
我們所需的信息包括:

  • 使用的氣體種類

  • 加熱與冷卻速率

  • 溫度范圍

  • 待處理零件的尺寸與數(shù)量

有了這些信息后,我們可以為您精確設(shè)計(jì)系統(tǒng),以實(shí)現(xiàn)最大化的工藝效益

歡迎聯(lián)系我們,我們將樂(lè)意為您提供咨詢建議。


安全為先:

CVD工藝后的反應(yīng)管
CVD工藝后的反應(yīng)管

我們秉持航空工業(yè)的安全理念

CVD 工藝中使用的介質(zhì)常常具有健康危害,這些有害物質(zhì)必須謹(jǐn)慎處理,并盡可能消除對(duì)人類和環(huán)境的風(fēng)險(xiǎn)。
我們的始終準(zhǔn)則是:安全第一!

SYSTHERMS 的系統(tǒng)在設(shè)計(jì)時(shí),經(jīng)過(guò)嚴(yán)密的部件選擇與冗余備份,以最大程度避免故障發(fā)生。
即使發(fā)生故障,我們配置的高靈敏度傳感器系統(tǒng)可以在早期發(fā)現(xiàn)異常并定位問(wèn)題

一旦檢測(cè)到異常,SYSTHERMS 的安全控制軟件會(huì)立即將系統(tǒng)置于安全狀態(tài),從而杜絕對(duì)人員和環(huán)境的傷害。

我們的安全優(yōu)先順序?yàn)椋?/p>

  1. 環(huán)境保護(hù)

  2. 系統(tǒng)保護(hù)

  3. 工件保護(hù)

故障的可能性包括:

  • 系統(tǒng)部件故障或失效

  • 氣體供應(yīng)中斷

  • 電力故障

我們已為這些情況采取相應(yīng)的預(yù)防措施。
當(dāng)系統(tǒng)進(jìn)入安全停機(jī)后,服務(wù)方案將協(xié)助您快速排除故障根源
我們的服務(wù)技術(shù)人員經(jīng)驗(yàn)豐富,響應(yīng)迅速。


技術(shù)參數(shù):

  • 使用氣體:氬氣 (Ar)、氫氣 (H?)、氯化氫 (HCl)、氟化氫 (HF)、氮?dú)?(N?)

  • 廢氣處理:NaOH、KOH 濕式洗滌器,干式過(guò)濾器

  • 標(biāo)準(zhǔn)爐腔尺寸:

    • ?750 x 650 mm

    • ?900 x 900 mm

    • ?1100 x 1100 mm

  • 最大裝載重量:1500 kg

  • 最高溫度:1100°C

  • 溫度均勻性:±5 K

  • 馬弗罐內(nèi)外均可進(jìn)行真空/壓力控制


可選結(jié)構(gòu)形式:

  • 升降螺旋機(jī)構(gòu)帶罩殼式設(shè)計(jì)

  • 底部懸掛吊車帶罩殼式設(shè)計(jì)

  • 平臺(tái)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)


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