TES單腔式ECR等離子體源
Polygon Physics公司的TES是緊湊型ECR離子源系列，專為超高真空（UHV）或高真空（HV）環(huán)境下的表面科學(xué)與處理設(shè)計(jì)，可產(chǎn)生離子、等離子體、電子或原子束流。憑借可選的多種引出系統(tǒng)及可定制化束流光學(xué)配置，TES是真正的多功能離子源解決方案。
應(yīng)用
加速器
質(zhì)譜分析
表面改性
電子化學(xué)
優(yōu)勢特點(diǎn)
高亮度系統(tǒng)
大功率電子束
長期運(yùn)行穩(wěn)定性
連續(xù)波/脈沖雙工作模式
免維護(hù)設(shè)計(jì)（無燈絲/無需冷卻）
即插即用CF100接口
可定制獨(dú)立電子機(jī)架系統(tǒng)
| TES-100 | electrons | ions | ions-high stability |
|---|---|---|---|
| Applications | Electron chemistry (down to 100 V) High power e-beam up to 1.5 kW | Accelerator, mass spectroscopy, surface modification | Accelerator, mass spectroscopy |
| Energy range | 100 V – 30 kV | 5 – 30 kV | 0.5 – 30 kV |
| Energy spread | – | 1% @30kV | 3 10-? @30kV |
| Current | – | 3 to 30 μA – typ. with 1 mm extractor 30 to 300 μA – typ. with 3 mm extractor | 0.5 to 5 μA – typ. with 0.3 mm extractor |
| Beam size | Energy and focus dependent | 0.5 -20 mm | 0.5 -3 mm |
| Insertion depth | from 169 mm or longer on demand | from 169 mm or longer on demand | from 169 mm or longer on demand |
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智能控制監(jiān)測軟件系統(tǒng)
該電子源配備人性化的控制監(jiān)測界面，可實(shí)時(shí)調(diào)控電子束參數(shù)、自動記錄實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并執(zhí)行預(yù)設(shè)工藝配方。同時(shí)提供Labview驅(qū)動程序，實(shí)現(xiàn)與第三方系統(tǒng)的無縫集成。
