Novascan紫外臭氧清洗機(jī)PSD系列是數(shù)字控制的臺(tái)式系統(tǒng)，尺寸從4×4英寸到20×20英寸不等。Novascan PSD臭氧清洗機(jī)采用強(qiáng)大的UV格柵系統(tǒng)，配備反射器和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)最佳的樣品定位和性能。4×4英寸及以上系統(tǒng)配備進(jìn)出氣體口。系統(tǒng)由方便的預(yù)設(shè)控制器控制，操作簡便。
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)PSD系列是研究級(jí)的紫外臭氧清洗系統(tǒng)，具有優(yōu)秀的靈活性，能滿足有機(jī)分子去除和其他眾多的應(yīng)用?？梢灾苯釉诳諝庵胁僮?，或是通過其中一個(gè)進(jìn)氣口通入氧氣來增加臭氧產(chǎn)生?？删幊虜?shù)字控制器可以控制系統(tǒng)進(jìn)程，來確保精確時(shí)間和優(yōu)化清洗參數(shù)。
?可編程數(shù)字控制器
?數(shù)字顯示倒計(jì)時(shí)
?輕松升級(jí)到熱盤選項(xiàng)
?可執(zhí)行暫停和終止指令
?內(nèi)部存儲(chǔ)器用于記錄之前的參數(shù)設(shè)置
一個(gè)強(qiáng)大的系統(tǒng)，提供了增強(qiáng)的進(jìn)程控制！
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)PSD系列主要特點(diǎn)：
– 提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的低樣品臺(tái)模型和原始的可變高度樣品臺(tái)模型
– 易于使用的預(yù)設(shè)數(shù)字控制器
– 便捷的兩個(gè)按鈕操作，方便簡單
– 自動(dòng)化的15、30、45、60、90、120分鐘處理時(shí)間
– 處理周期可以隨時(shí)手動(dòng)中斷
– 系統(tǒng)可以通過選項(xiàng)升級(jí)，如熱紫外溫度臺(tái)，但不像PSDP型號(hào)那樣易于操作和經(jīng)濟(jì)實(shí)惠
– 節(jié)省成本但功能齊全的設(shè)計(jì)使該系統(tǒng)成為熱門選擇
– 設(shè)置和使用非常簡單
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)PSD系列介紹：
電 源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
樣品高度：所有系統(tǒng)都配置可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，并帶位置鎖定，標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)尺寸為UV格柵燈大小或更大。
UV格柵燈：產(chǎn)生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時(shí)。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。
樣品放置：打開清洗腔上蓋，露出樣品臺(tái)，允許360度裝入樣品。
安全裝置：當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈。
進(jìn)出氣口：標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)氣接口，可選更多。
反應(yīng)腔：選項(xiàng)客戶化定制，鋁或石英材料。
臭氧中和器：中和器用于臭氧排除。（PSD和PSDP選項(xiàng)）
工作原理：PSD系列產(chǎn)品通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短并且同時(shí)也被254nm光分解，樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機(jī)污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時(shí)也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)主要型號(hào)：
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)PSD系列應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 去除有機(jī)污染物：快速去除各種表面和材料上的油性有機(jī)污染物，如硼硅玻璃、砷化鎵、ITO、硅晶片、玻璃、PDMS、原子力顯微鏡探針、聚合物等。
2. 半導(dǎo)體晶圓清潔和表面清潔：對(duì)各種類型的半導(dǎo)體晶圓（硅晶片、磷化銦（InP）晶圓、砷化鎵（GaAs）晶圓、鍺（Ge）晶圓、藍(lán)寶石晶圓等）進(jìn)行非破壞性表面清潔，以獲得最佳結(jié)果，無需昂貴的高真空系統(tǒng)、濕法處理或有毒化學(xué)品。
3. 掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡和石英晶體微量天平應(yīng)用：準(zhǔn)備和清潔SEM/TEM樣品，準(zhǔn)備和重復(fù)使用AFM探針，清潔QCM傳感器，用于高分辨率成像、力測(cè)量、化學(xué)檢測(cè)和分析。
4. 玻璃表面清潔：為細(xì)胞培養(yǎng)、顯微鏡、原子力顯微鏡、PDMS微流體粘接等應(yīng)用實(shí)現(xiàn)親水性、無菌、潔凈的表面。
5. 表面改性、表面活化和預(yù)處理：激活和增強(qiáng)粘接和結(jié)合、潤濕性和其他表面性質(zhì)。
6. 微流控器件：清潔和準(zhǔn)備PDMS和玻璃組件，用于微流控器件的制造和粘接。
7. 光阻剝離：使用Novascan的熱紫外處理工藝與純氧，有效地非破壞性地從晶圓、硅、氮化硅硅、硼硅玻璃和半導(dǎo)體表面去除光阻殘留物。
