Novascan臭氧清洗機,PSD臭氧清洗機,PSDP紫外線清洗機,紫外臭氧清潔器,PSDP-Thermal紫外臭氧表面清潔系統(tǒng)
Novascan已有25年的設(shè)計紫外系統(tǒng)的經(jīng)驗,并為來自世界各地的成千上萬客戶提供專業(yè)知識、銷售和支持。為了滿足客戶多樣化的應(yīng)用需求,我們提供多種尺寸的紫外臭氧表面清潔和表面活化系統(tǒng),尺寸范圍從100x100mm到500x500mm不等,配備多種不同的數(shù)字控制器類型和選項。Novascan臭氧清洗機系統(tǒng)提供易操作的手動和自動化版本,我們最小的是PSD型號。
Novascan PSD、PSDP和PSDP-Thermal系列紫外臭氧表面清潔和表面活化系統(tǒng):Novascan提供多款臺式紫外臭氧清潔器型號、系統(tǒng)尺寸和選項,以滿足您特定的需求和預(yù)算要求。
獨特的樣品臺,可實現(xiàn)360度樣品訪問和處理薄片或高樣品:
Novascan臭氧清洗機提供我們原創(chuàng)的可變高度臺,用于設(shè)置處理關(guān)鍵紫外燈到樣品的距離。在我們的可變高度系統(tǒng)中,高達100mm的樣品可以被處理。Novascan還提供一款新的成本效益高的低樣品固定臺系列,可讓您處理高度小于15mm的薄樣品,同時仍包含我們原始系統(tǒng)的所有出色功能和優(yōu)勢。
強大的高密度深紫外石英格柵燈:
Novascan臭氧清洗機采用質(zhì)量最高的深紫外石英燈,間距緊密,以實現(xiàn)最大覆蓋均勻性和快速增強表面清潔性能,可適用于常見和具有挑戰(zhàn)性的材料。
可升級和定制化的系統(tǒng):
Novascan提供一系列紫外系統(tǒng)選項,以滿足您當前和未來的應(yīng)用需求。我們的模塊化紫外系統(tǒng)設(shè)計使其可以升級,因此您的系統(tǒng)可以隨著項目的發(fā)展和增長而保持功能。您可以添加選項,如熱紫外用于增強清潔應(yīng)用、更大的燈管用于更大的樣品,或者臭氧排氣裝置,以便您可以在臺面上安全使用系統(tǒng),而不是在排風罩中使用。
多種尺寸的系統(tǒng)以滿足您的應(yīng)用需求:尺寸范圍從100x100mm(4×4英寸)到500x500mm(20×20英寸),以匹配您的樣品尺寸和您想同時處理的樣品數(shù)量。
固定高度或可變高度系統(tǒng):選擇固定高度適用于晶圓、顯微鏡載玻片、蓋玻片、原子力顯微鏡探針等??勺兏叨葮悠放_適用于高度高達4英寸的樣品,或者對于紫外熱系統(tǒng),高度高達3.5英寸。
可靠性:經(jīng)過25年以上的驗證,高度可靠的系統(tǒng)。
Novascan臭氧清洗機應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 去除有機污染物:快速去除各種表面和材料上的油性有機污染物,如硼硅玻璃、砷化鎵、ITO、硅晶片、玻璃、PDMS、原子力顯微鏡探針、聚合物等。
2. 半導體晶圓清潔和表面清潔:對各種類型的半導體晶圓(硅晶片、磷化銦(InP)晶圓、砷化鎵(GaAs)晶圓、鍺(Ge)晶圓、藍寶石晶圓等)進行非破壞性表面清潔,以獲得最佳結(jié)果,無需昂貴的高真空系統(tǒng)、濕法處理或有毒化學品。
3. 掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡和石英晶體微量天平應(yīng)用:準備和清潔SEM/TEM樣品,準備和重復使用AFM探針,清潔QCM傳感器,用于高分辨率成像、力測量、化學檢測和分析。
4. 玻璃表面清潔:為細胞培養(yǎng)、顯微鏡、原子力顯微鏡、PDMS微流體粘接等應(yīng)用實現(xiàn)親水性、無菌、潔凈的表面。
5. 表面改性、表面活化和預(yù)處理:激活和增強粘接和結(jié)合、潤濕性和其他表面性質(zhì)。
6. 微流控器件:清潔和準備PDMS和玻璃組件,用于微流控器件的制造和粘接。
7. 光阻剝離:使用Novascan的熱紫外處理工藝與純氧,有效地非破壞性地從晶圓、硅、氮化硅硅、硼硅玻璃和半導體表面去除光阻殘留物。