LPA812-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol尋邊器、Logosol晶圓尋邊臺(tái)
創(chuàng)新一體化設(shè)計(jì) 卓越性能表現(xiàn)
? 高度集成化設(shè)計(jì)，摒棄外部控制器與連接線纜
? 完美保持即插即用兼容特性
超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)
? 響應(yīng)迅捷無延遲
? 運(yùn)行平穩(wěn)無振動(dòng)
先進(jìn)電子掃描系統(tǒng)
? 智能識(shí)別透明/半透明/不透明晶圓
? 自適應(yīng)不同尺寸晶圓，無需機(jī)械調(diào)整
智能運(yùn)動(dòng)控制軟件
? 集成豐富指令集
? 全面兼容各類半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)
高效對(duì)準(zhǔn)性能
? 典型對(duì)準(zhǔn)周期<4秒
? 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量
晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀技術(shù)規(guī)格表
| 技術(shù)參數(shù) | 規(guī)格詳情 |
|---|---|
| 晶圓直徑 | 200毫米、300毫米 |
| 晶圓類型 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤與定位頂針系統(tǒng) |
| 對(duì)中精度 | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±25微米 |
| 角度精度(3σ) | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±0.04°（標(biāo)準(zhǔn)模式） 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±0.02°（高精度模式） |
| 伺服軸數(shù) | 三軸 |
| 主機(jī)通信接口 | RS232、以太網(wǎng) |
| 最大初始偏移量 | 12毫米 |
| 機(jī)體尺寸 | 173毫米(寬)×317毫米(長(zhǎng))×190毫米(高) |
| 設(shè)備兼容性 | LP4312-3、LPA1218-3 LPABET-3、LPA12ET-3系列 |
| 整機(jī)重量 | 5.40千克 |
| 電源要求 | 100-240V交流電，50/60Hz，48VA 或24V直流電/2A |
| 真空要求 | 12英寸汞柱真空 |
| 平邊/缺口標(biāo)準(zhǔn) | 符合SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈等級(jí) | Class 1級(jí)（最高潔凈標(biāo)準(zhǔn)） |
| 平均無故障時(shí)間 | >70,000小時(shí)（行業(yè)領(lǐng)先水平） |
