創(chuàng)新、高性能的一體化設(shè)計(jì)，在保持即插即用兼容性的同時(shí)，省去了外部控制器和互聯(lián)線纜采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)迅捷流暢先進(jìn)掃描電子系統(tǒng)可檢測透明、半透明及不透明物體，無需因晶圓尺寸差異進(jìn)行機(jī)械重定位運(yùn)動(dòng)控制軟件配備全套常用指令集，兼容多種半導(dǎo)體平臺(tái)并實(shí)現(xiàn)無縫對(duì)接典型對(duì)準(zhǔn)周期小于四秒，助力實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量

晶圓尺寸 2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米
晶圓類型 透明、半透明、不透明晶圓
適用基材 方形基板兼容
晶圓處理 真空吸盤與頂針系統(tǒng)
對(duì)中精度 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上±25微米

角度精度
（3σ標(biāo)準(zhǔn)）
10000線編碼器 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上±0.04°
24000線編碼器 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器吸盤上±0.02°

伺服軸數(shù) 3軸
主機(jī)通信 RS232、以太網(wǎng)
最大初始偏移 10毫米（2英寸晶圓為6毫米）
機(jī)身尺寸（寬×長×高） 173毫米×267毫米×190毫米
設(shè)備兼容性 LPA38-3、LPA58-3
LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3
整機(jī)重量 5.00千克
電源要求 100-240伏交流電，50/60赫茲，48伏安
或24伏直流電/2安培
真空要求 12英寸汞柱
平邊/缺口標(biāo)準(zhǔn) 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
潔凈等級(jí) 1級(jí)
平均無故障時(shí)間 超過70,000小時(shí)

LPA26-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol尋邊器、Logosol晶圓尋邊臺(tái)