Logosol LPA系列晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

創(chuàng)新、高性能、兼容1級(jí)
獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)消除了外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持了插入式兼容性
掃描電子設(shè)備、運(yùn)動(dòng)控制器和電源包含在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)占地面積內(nèi)
由超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，而無(wú)需在不同尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人無(wú)縫對(duì)接，支持45mm至480mm的所有晶圓尺寸以及相應(yīng)尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令，可與各種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和接口
快速的對(duì)齊周期有助于實(shí)現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量
既可作為獨(dú)立設(shè)備，也可作為與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人協(xié)同工作的嵌入式設(shè)備
保留選項(xiàng)包括真空、非真空和邊緣處理