Logosol diamond H5晶圓機器人、Logosol晶圓處理平臺

Diamond H5系列真空機器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計和可靠性方面的重大工程進步。

得益于技術(shù)先進的組件，機器人利用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機，結(jié)合零間隙Harmonic Drive?齒輪，大大提高了靈活性和精度。

創(chuàng)新的一體化設(shè)計將運動控制器、伺服放大器和電源整合到機器人的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)足跡中。高強度結(jié)構(gòu)構(gòu)件能夠安裝在法蘭的頂面或底面上，而不會影響系統(tǒng)剛度?？陕?lián)網(wǎng)的RS-485和以太網(wǎng)接口補充了標(biāo)準(zhǔn)的RS-232和示教器連接。強大的原生晶圓處理和腳本語言有助于快速開發(fā)軟件，將機器人嵌入OEM應(yīng)用環(huán)境。
對傳統(tǒng)機器人“宏”命令的全面仿真降低了與各種現(xiàn)有半導(dǎo)體工具的兼容性。

特點

模塊化和高度可定制的設(shè)計
完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源
高響應(yīng)無刷電機和精確的零間隙
Harmonic Drive?齒輪
主機的標(biāo)準(zhǔn)RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口
先進的32位實時運動控制內(nèi)核
強大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和實用程序
傳統(tǒng)機器人宏命令的軟件仿真
可選示教器終端
通用數(shù)字輸入和輸出，供定制使用
可靠性——平均故障間隔時間>60000小時