Logosol diamond H3晶圓機器人、Logosol晶圓處理平臺

Logosol晶圓處理平臺包含源自30多年半導(dǎo)體自動化經(jīng)驗的各種產(chǎn)品和服務(wù)。技術(shù)范圍從硬件、軟件和機械設(shè)計到制造、集成和應(yīng)用工程。該公司與晶圓搬運機器人和預(yù)對準(zhǔn)器相關(guān)的設(shè)計解決了需要直接更換半導(dǎo)體晶圓廠遺留產(chǎn)品的應(yīng)用，以及OEM制造商新開發(fā)的資本設(shè)備中的自動化材料搬運。這些產(chǎn)品線采用Logosol完全擁有和控制的技術(shù)，包括運動控制電子設(shè)備、晶圓處理固件、軟件工具、實用工具和機械設(shè)計。整個技術(shù)范圍的可用性允許極高水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。

Logosol擁有向各種實體授權(quán)其晶圓處理自動化專有技術(shù)的悠久歷史。作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分，這些產(chǎn)品包括各種機器人尺寸和手臂配置。被許可方受益于公司在半導(dǎo)體自動化領(lǐng)域的豐富專業(yè)知識、成熟的產(chǎn)品和解決方案，以及在該領(lǐng)域30多年的專業(yè)經(jīng)驗。我們公司提供全面且高度可定制的統(tǒng)一技術(shù)，涵蓋您項目的方方面面，從機械設(shè)計到運動控制電子設(shè)備、固件、軟件工具和實用程序。無論您需要簡單還是復(fù)雜的解決方案，我們都可以定制我們的技術(shù)來滿足您的特定要求。你將完全控制你的項目，而不依賴于第三方的補充。我們的技術(shù)設(shè)計靈活、可擴展、可靠，確保高性能和高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。該公司不僅提供制造許可證和文件，還提供機器人控制器、電源和制造整個產(chǎn)品所需的特定電子模塊。此外，Logosol提供最全面的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，可與所有許可的晶圓搬運機器人無縫集成。

LRC-x31g3是三軸、四軸和五軸機器人控制器，帶有集成CPU板和功率放大器，專為需要精確控制旋轉(zhuǎn)或線性無刷電機的應(yīng)用而設(shè)計。它們可以用作內(nèi)置或外部控制器。LRC-x31g3通過主機RS-232或10/100 Base-T以太網(wǎng)接口進行控制。使用Logosol分布式控制網(wǎng)絡(luò)擴展接口可以無縫連接額外的外部設(shè)備。LRC-x31g3配備了各種安全功能，如輸出和電機短路保護、欠壓關(guān)閉和編碼器存在控制、智能停止功能，以避免機器在外部停止或電源斷開時機械臂掉落。先進的運動控制技術(shù)支持非常高分辨率的編碼器，能夠產(chǎn)生出色的多軸軌跡。硬件輔助的位置鎖存提高了動態(tài)晶圓對準(zhǔn)的精度。

MCL5是Logosol的第五代專有運動控制軟件包，提供特定領(lǐng)域編程語言和多任務(wù)實時解釋器。這是一個致力于機器人控制應(yīng)用程序設(shè)計的編程框架。MCL5可執(zhí)行程序包括運動控制器和I/O模塊的集成、各種機器人運動學(xué)的實現(xiàn)、對復(fù)雜軌跡運動的支持以及對系統(tǒng)完整性的監(jiān)控。該可執(zhí)行文件還包括一個實時多任務(wù)腳本解釋器。它允許設(shè)計應(yīng)用特定的腳本，可用于協(xié)調(diào)機器人運動的序列，并實現(xiàn)自定義主機通信協(xié)議。腳本語言由一組保留字定義，其表達式語法類似于C編程語言。

Diamond H3系列大氣機器人代表了一個重要的晶圓處理設(shè)備的設(shè)計和可靠性方面的工程進步。
得益于技術(shù)先進的組件，機器人利用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機，結(jié)合零間隙Harmonic Drive?齒輪，大大提高了靈活性和精度。
創(chuàng)新的一體化1級潔凈室兼容設(shè)計將運動控制器、伺服放大器和電源整合到機器人的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)占地面積內(nèi)。
高強度結(jié)構(gòu)件可實現(xiàn)頂部、底部或側(cè)面安裝配置，而不會影響系統(tǒng)剛度。32位實時內(nèi)核可沿平滑連續(xù)軌跡提供精確的運動分析，而分布式控制架構(gòu)允許與線性軌跡、預(yù)對準(zhǔn)器和其他子組件無縫集成。