Logosol獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對準(zhǔn)器、Logosol晶圓預(yù)對準(zhǔn)器LPA1218-1E

創(chuàng)新性高性能一體化設(shè)計(jì)
無需外部控制器與連接線纜
即裝即用兼容現(xiàn)有系統(tǒng)

采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動
響應(yīng)迅捷平穩(wěn)運(yùn)行

先進(jìn)掃描電子系統(tǒng)可檢測
透明/半透明/不透明物體
無需機(jī)械調(diào)整即可適配不同尺寸晶片

運(yùn)動控制軟件配備全套常用指令
兼容多種半導(dǎo)體平臺接口

典型對準(zhǔn)周期小于4秒
助力實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量