晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)規(guī)格
基本參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|
| 晶圓直徑 | 3英寸、100mm、125mm、150mm、200mm |
| 晶圓類型 | 透明/半透明/不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤 |
精度指標(biāo)
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
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| 對(duì)中精度 | ±50μm（預(yù)對(duì)準(zhǔn)吸盤） |
| 角度精度(3σ) | ±0.06°（預(yù)對(duì)準(zhǔn)吸盤） |
| ±0.04°（預(yù)對(duì)準(zhǔn)吸盤） |
系統(tǒng)配置
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
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| 伺服軸數(shù)量 | 單軸 |
| 通信接口 | RS232/以太網(wǎng) |
| 最大初始偏移 | 10mm |
| 外形尺寸(W×L×H) | 95×266×191mm |
兼容性及認(rèn)證
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
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| 兼容機(jī)型 | LPA25-1E/LPA58-1E/LPA312-1E/LPA812-1E/LPA1218-1E |
| 設(shè)備重量 | 3.5kg |
| 電源要求 | 100-240VAC(50/60Hz,48VA)或24VDC/2A，真空12英寸汞柱 |
| 平面/凹槽標(biāo)準(zhǔn) | 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈度等級(jí) | Class 1 |
| 平均無(wú)故障時(shí)間 | >70,000小時(shí) |
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 支持3-200mm多種晶圓尺寸
- 高精度定位（±50μm對(duì)中，±0.04°~±0.06°角度）
- 緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)省空間
- 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，Class 1潔凈等級(jí)
- 工業(yè)級(jí)可靠性（MTBF>7萬(wàn)小時(shí)）
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、晶圓檢測(cè)、精密加工等自動(dòng)化生產(chǎn)場(chǎng)景。
