LPA38-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀、Logosol尋邊器、Logosol晶圓尋邊臺(tái)
創(chuàng)新設(shè)計(jì)，性能卓越，一體化結(jié)構(gòu)
無需外接控制器與連接線纜
即裝即用，兼容性強(qiáng)
超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)
響應(yīng)迅捷，運(yùn)行平穩(wěn)
先進(jìn)掃描電子系統(tǒng)
透明、半透明、不透明晶圓皆可識(shí)別
不同尺寸晶圓無需機(jī)械調(diào)整
運(yùn)動(dòng)控制軟件功能強(qiáng)大
內(nèi)置豐富指令集
兼容各類半導(dǎo)體平臺(tái)
典型對(duì)準(zhǔn)周期不足4秒
助力實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量
晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀技術(shù)規(guī)格表
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 晶圓直徑 | 3英寸、100毫米、125毫米、150毫米、200毫米 |
| 晶圓類型 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤與定位頂針系統(tǒng) |
| 對(duì)中精度 | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±25微米 |
| 角度精度(3σ) | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±0.04° |
| 10000線編碼器 | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤上±0.02° |
| 24000線編碼器 | 三軸系統(tǒng) |
| 主機(jī)通信接口 | RS232、以太網(wǎng) |
| 最大初始偏移量 | 12毫米 |
| 機(jī)體尺寸 | 173毫米(寬)×267毫米(長)×190毫米(高) |
| 設(shè)備兼容性 | LPAG6-3、LPAS8-3、LPAGEH-3、LPASEH-3系列 |
| 整機(jī)重量 | 5.00千克 |
| 電源要求 | 100-240V交流電，50/60Hz，48VA 或 24V直流電/2A |
| 真空要求 | 12英寸汞柱真空 |
| 平邊/缺口標(biāo)準(zhǔn) | 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈等級(jí) | Class 1級(jí) |
| 平均無故障時(shí)間 | >70,000小時(shí) |
