Logosol LPA6EH-3晶圓預對準器
減少接觸邊緣處理150mm晶圓的預對準器
協(xié)調(diào)能力：
標準150mm晶圓150mm平面、透明和半透明基板
接觸區(qū)：邊緣接觸，斑點寬度為1mm
減少接觸邊緣處理預對準器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（高達6mm）
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