Logosol LPA26-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

創(chuàng)新的高性能一體式設(shè)計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性
由超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，而無需在不同晶片尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運動控制軟件具有一套全面的常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和接口
典型的對齊周期時間小于四秒，有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量