電靜力卡盤能夠通過靜電力將多個芯片以及晶圓的部分夾持到晶圓支架上。

這種設備對于研發(fā)機構非常有用，因為并非總是可以處理完整的晶圓。通過電靜力夾持芯片，可以在HF蒸汽釋放之前執(zhí)行MEMS晶圓的嚴格切割工藝。通過修改傳統(tǒng)的制造順序，可以生產(chǎn)出具有極其柔軟懸浮結構的MEMS器件。

電靜力卡盤的使用非常簡單。將芯片放置在晶圓支架上，并通過控制箱上的開關打開電力。電靜力的大小可以進行調(diào)整。

靜電卡盤既可以用于整個晶片的夾持，也可以用于單個芯片的靜電夾持。