美國Get Control E84仿真器 開發(fā)實(shí)施和認(rèn)證符合SEMI? E84™標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 兼容Windows 10系統(tǒng)

E84仿真器——現(xiàn)已兼容Windows 10！

GCI E84仿真器

GCI E84仿真器是全球領(lǐng)先的測試工具，專為開發(fā)、實(shí)施和認(rèn)證符合SEMI? E84™標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品而設(shè)計(jì)。它提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化的自動化測試方案，被全球所有300mm晶圓廠和設(shè)備制造商采用。GCI E84仿真器是唯一能確保300mm工廠自動化互操作性的解決方案。

E84仿真器通過自動化流程，測試主動與被動實(shí)體的并行輸入/輸出（PI/O）控制信號。SEMI? E84™標(biāo)準(zhǔn)定義了晶圓制造設(shè)施中自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）與生產(chǎn)設(shè)備間傳輸時使用的控制信號。

E84仿真器通過USB接口連接至基于Microsoft? Windows的筆記本電腦或臺式機(jī)，其配套應(yīng)用程序兼容Windows XP、7及10操作系統(tǒng)。

仿真器提供圖形用戶界面（GUI），支持主動與被動仿真的自動及手動測試模式。在自動測試模式下，操作員需輸入姓名、測試日期及設(shè)備信息。

主動模式測試套件用于驗(yàn)證工藝設(shè)備E84接口的行為，包含20項(xiàng)可單獨(dú)啟用的測試項(xiàng)目。針對傳輸系統(tǒng)測試，還提供類似的被動模式測試套件。

靜態(tài)測試要求操作員確認(rèn)每個裝載端口均配有標(biāo)記的DB-25插頭，并備有錯誤恢復(fù)文檔。測試界面可選擇性顯示DB-25連接器的標(biāo)記圖示與位置要求。

功能測試用于驗(yàn)證單次交接的裝載與卸載周期：

  • 多項(xiàng)測試驗(yàn)證設(shè)備是否正確處理”交接就緒”信號；

  • 5項(xiàng)測試強(qiáng)制觸發(fā)標(biāo)準(zhǔn)TP超時錯誤；

  • 4項(xiàng)測試驗(yàn)證被動設(shè)備端口傳感器的行為；

  • 其他測試涵蓋急停功能及E84要求的+24V供電電壓。
    測試過程中可選擇性顯示各類控制信號的時序圖。

Screenshot of E84 Emulator Setup Utility

在自動測試模式下，測試方案與結(jié)果可選擇性地保存。保存的文件包含一個可打印的ASCII格式文本文件，內(nèi)容涵蓋：

  1. 設(shè)備信息：操作員輸入的全部設(shè)備數(shù)據(jù)；

  2. 測試報告：由E84仿真器應(yīng)用程序提供的每項(xiàng)測試詳情，包括：

    • 測試標(biāo)題

    • 通過/失敗結(jié)果

    • 故障提示信息

    • 測試過程中用戶添加的備注

  3. 斷點(diǎn)續(xù)測：已保存的測試方案可重新載入以繼續(xù)未完成的測試。

手動測試模式則提供菜單選項(xiàng)，允許用戶：

  • 主動控制：自由切換并行輸出信號的狀態(tài)；

  • 實(shí)時監(jiān)控：界面持續(xù)顯示并行輸入信號的當(dāng)前狀態(tài)。


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