GCI E84串并轉(zhuǎn)換控制器(SPC)是300mm設(shè)備制造商實(shí)現(xiàn)SEMI E84標(biāo)準(zhǔn)通信的即用型解決方案。其內(nèi)置裝載/卸載算法,為以下設(shè)備提供完美的E84通信支持:
工藝設(shè)備
晶圓存儲(chǔ)系統(tǒng)
裝載端口
FOUP緩沖站
智能存儲(chǔ)貨架
模擬裝載端口
核心特性
? 通過標(biāo)準(zhǔn)串行通信接口輕松集成至設(shè)備控制器
? 自動(dòng)執(zhí)行全握手流程(含錯(cuò)誤檢測(cè)與報(bào)告)
? 可選獨(dú)立控制器模式(支持位置/存在傳感器輸入)
? 擠壓鋁制外殼(可選無外殼版本,適配3英寸導(dǎo)軌安裝)
接口配置
AMP 3mm Micro MATE-N-LOK連接器(2個(gè)):
? RS232接口(發(fā)送/接收/地線)
? 6路輔助輸入(裝載端口傳感器/光幕/自定義輸入)
? 1路輔助輸出
? 系統(tǒng)電源DB-25母頭接口:
? 符合被動(dòng)E84 PI/O標(biāo)準(zhǔn)(連接AMHS或光模塊)
? 提供16路光隔離I/O信號(hào)+3路預(yù)留光模塊信號(hào)(Select/Mode/Go)
? 每路PI/O信號(hào)配備LED狀態(tài)指示燈
? 提供+24V光模塊供電
控制方式
自動(dòng)模式:通過基于ASCII指令集的API實(shí)現(xiàn)最小化主機(jī)干預(yù)
手動(dòng)模式:支持主機(jī)單獨(dú)控制/監(jiān)控各PI/O信號(hào)
電氣參數(shù)
? 供電:+18-30 VDC,200mA