GCI E84模擬器是全球領先的測試工具,用于開發(fā)、實施和鑒定必須符合SEMI? E84™標準的產(chǎn)品。它提供了一種行業(yè)標準的自動化測試方案,全球每一家300毫米晶圓廠和設備制造商都在使用。GCI E84模擬器是唯一能夠確保300毫米工廠自動化互操作性的解決方案。
E84模擬器為測試主動和被動實體的并行輸入/輸出(PI/O)控制信號提供自動化程序。SEMI? E84™ 定義了晶圓制造設施中自動化物料搬運系統(tǒng)(AMHS)與生產(chǎn)設備之間傳輸過程中使用的控制信號。
E84模擬器通過USB連接與基于微軟? Windows系統(tǒng)的筆記本電腦或臺式計算機相連。E84模擬器應用程序與Windows XP、7和10系統(tǒng)兼容。
提供了一個圖形用戶界面(GUI),支持主動和被動仿真的自動和手動測試模式。在自動測試模式下,輸入操作員姓名、測試日期和設備信息等數(shù)據(jù)。
主動模式測試套件用于驗證工藝設備E84接口的運行情況。共有20項主動模式測試,操作人員可單獨啟用或禁用。此外,還有一套類似的被動模式測試套件,用于測試輸送系統(tǒng)。
提供主動模式靜態(tài)測試,要求操作人員驗證每個裝載端口是否都有一個帶標簽的DB – 25插頭,并且錯誤恢復文檔是否可用。所需DB – 25連接器的標簽和位置圖可選擇顯示。
主動模式功能測試用于驗證單一切換加載和卸載周期。多項測試用于驗證設備是否正確處理“切換可用”問題。提供了五項測試,以強制觸發(fā)五種標準的TP超時錯誤中的每一種。四項測試用于驗證被動設備端口傳感器的行為。其他測試用于驗證緊急停止處理以及所需的E84 +24V電源電壓。各種測試的控制信號時序圖可選擇顯示。
在自動測試模式下,測試計劃和結果可選擇保存。保存的文件包括一個為打印而格式化的ASCII文本文件。此文本文件包含操作員輸入的所有設備信息,以及由E84模擬器應用程序提供的關于每次測試的信息。測試詳情包括測試標題、結果、故障信息以及用戶在測試期間輸入的任何注釋。已保存的測試計劃也可被調用以恢復測試。
手動測試模式提供一個菜單,用戶可以通過該菜單切換并行輸出信號的狀態(tài),同時持續(xù)顯示并行輸入信號的狀態(tài)。