E84 監(jiān)控系統(tǒng)(E84 Monitoring System)
EMS 系統(tǒng)框圖(EMS Block Diagram)
GCI 的 E84 PI/O 監(jiān)控系統(tǒng)(EMS)可同時(shí)對(duì)兩個(gè)至四個(gè) 300mm 裝載口的 E84 PI/O 信號(hào)轉(zhuǎn)換進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控與存儲(chǔ)。
在晶圓廠(FAB)中,所有物料的交接過(guò)程都由 E84 握手協(xié)議控制。確定物料交接失敗的原因及其修復(fù)方法,是 FAB 中最耗時(shí)且成本高昂的故障排查任務(wù)之一。對(duì) E84 控制信號(hào)的詳細(xì)分析對(duì)于查明交接失敗的根本原因至關(guān)重要。
GCI EMS 系統(tǒng)可根據(jù)配置,對(duì)兩個(gè)至四個(gè)裝載口的 E84 信號(hào)狀態(tài)進(jìn)行持續(xù)顯示與記錄。記錄的數(shù)據(jù)按日期存儲(chǔ)為日志文件,便于查找特定的交接記錄。強(qiáng)大的搜索功能允許操作員在指定時(shí)間范圍內(nèi)快速列出某一裝載口的所有失敗交接記錄。
系統(tǒng)功能
實(shí)時(shí)顯示兩個(gè)至四個(gè)裝載口的 E84 信號(hào)轉(zhuǎn)換狀態(tài)
將 E84 信號(hào)轉(zhuǎn)換記錄保存為每日日志文件
功能強(qiáng)大的日志搜索工具,可查找特定 E84 交接序列的時(shí)序信息
可對(duì)每次交接序列進(jìn)行詳細(xì)時(shí)序分析,并顯示區(qū)域總結(jié)(Zone Summary)
日志文件回放分析模式
錯(cuò)誤分析模式,用于在日志中定位失敗的交接序列
測(cè)量時(shí)間間隔分析工具
縮放顯示分析工具
圖形界面可導(dǎo)出為 Windows 位圖格式
記錄數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為表格文本格式
當(dāng) PC 通信中斷時(shí),E84 事件仍會(huì)記錄在 DLD(數(shù)據(jù)記錄設(shè)備)中由電池供電的 RAM 中
EMS 實(shí)時(shí)顯示界面
可實(shí)時(shí)查看 E84 信號(hào)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。默認(rèn) EMS 界面顯示兩個(gè)至四個(gè)裝載口的所有 E84 信號(hào)電平。系統(tǒng)還可設(shè)置在某裝載口不再可用于交接(HO_AVBL 信號(hào)關(guān)閉)時(shí)自動(dòng)暫停實(shí)時(shí)顯示。
EMS 搜索窗口
通過(guò)“日志搜索”功能查找特定的 E84 交接記錄。可按日期與時(shí)間范圍、指定裝載口、交接類型(成功或失?。┻M(jìn)行篩選,并顯示符合條件的 E84 交接記錄列表。選擇某條交接記錄后,點(diǎn)擊“詳細(xì)信息”按鈕可進(jìn)入詳細(xì)交接狀態(tài)顯示界面(如下)。
EMS 詳細(xì)狀態(tài)圖
通過(guò)“日志搜索”功能選擇某一 E84 交接序列后,系統(tǒng)將顯示其完整的時(shí)序信息。界面中可查看所有與該交接相關(guān)的 E84 事件,并在時(shí)序圖上標(biāo)出 E84-0304 標(biāo)準(zhǔn)中定義的各個(gè)邊界區(qū)域(Boundary Zones)。界面右側(cè)提供邊界區(qū)域摘要(Zone Summary),包括每個(gè)區(qū)域的起始時(shí)間戳與持續(xù)時(shí)間。此外,還可使用“采樣測(cè)量”工具進(jìn)行進(jìn)一步時(shí)序分析。
系統(tǒng)組件
一臺(tái)預(yù)裝并配置好 E84 監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件的 Windows XP 專業(yè)版筆記本電腦
每個(gè)配置的裝載口(共 2~4 個(gè))配備以下設(shè)備:
一臺(tái) GCI 數(shù)據(jù)記錄設(shè)備(DLD,型號(hào) P/N GCI06001)
一根 5 米 GCI E84 光學(xué)收發(fā)器(型號(hào) P/N GCI04002-5m)
一根 15 英尺 9 針串口通信線纜(型號(hào) P/N GC72802015)
一根 USB 轉(zhuǎn)串口轉(zhuǎn)換線(型號(hào) P/N SW-1301)
一根 PC 防盜鋼纜(型號(hào) P/N 2900-95)
一只 USB 鼠標(biāo)(型號(hào) X800898)
一份打印版用戶手冊(cè)
一張安裝軟件備份光盤(CD-ROM)
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