GCI三軸加速度計測試工具（振動工具）
安裝在FOUP中的加速度計測試工具

AMHS和輸送設(shè)備制造商使用三軸加速度計測試工具，在系統(tǒng)開發(fā)、安裝和維護過程中量化和評估振動特性。這一行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具被200mm和300mm晶圓廠用于測量物料搬運系統(tǒng)對晶圓批次產(chǎn)生的振動。通過檢測軌道錯位的早期跡象，可以對系統(tǒng)進行維護，以最小化晶圓批次受到的振動影響。三軸加速度計測試工具可作為獨立單元使用，也可與GCI信息中心配合使用，通過AMHS車輛提供的位置數(shù)據(jù)實現(xiàn)自動化記錄。

GCI的三軸加速度計測試工具為AMHS供應(yīng)商和終端用戶提供了精確的振動測量解決方案。該工具在自動化或手動運輸過程中，同時采集并記錄X、Y和Z軸上的振動數(shù)據(jù)。

三軸加速度計測試工具采用電池供電，自成一體。適配板可將工具牢固安裝在300mm FOUP內(nèi)部。對于200mm應(yīng)用，可選配安裝板，將工具固定在200mm晶圓載具內(nèi)。LCD顯示屏和鍵盤提供配置選項的訪問。

板載數(shù)據(jù)簡化
三軸加速度計測試工具實時對每個軸每秒512個數(shù)據(jù)點進行板載數(shù)據(jù)簡化。提供多種數(shù)據(jù)簡化選項，包括RMS（均方根）、峰值、峰值頻率和真實RMS。板載數(shù)據(jù)簡化以半秒為間隔（使用FFT），每軸每秒為每種簡化類型生成兩個簡化數(shù)據(jù)點。記錄容量受簡化類型限制（最長2至6小時）。

簡化數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部SD卡上。在上傳至PC進行分析之前，可存儲多次記錄會話。提供RS-232端口，用于通過InfoCenter桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)（聯(lián)系GCI）。

時域記錄選項
三軸加速度計測試工具可配置時域記錄選項，將時域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字存儲卡中。啟用此選項后，工具每秒每軸直接向安裝的SD卡記錄512個時域數(shù)據(jù)點。記錄容量受SD卡可用空間限制（最長6小時）。數(shù)據(jù)簡化通過PC上的GCI VibPlot或InfoCenter桌面應(yīng)用程序完成。

VibPlot分析應(yīng)用程序
VibPlot屏幕截圖
VibPlot提供對記錄的時域數(shù)據(jù)進行頻率分析的工具。VibPlot復(fù)制了三軸加速度計測試工具中的板載數(shù)據(jù)簡化功能，并增加了額外的分析特性，如三維瀑布圖和彩色頻譜圖。時域數(shù)據(jù)可與簡化數(shù)據(jù)（RMS、峰值、真實RMS）圖表及每半秒間隔的FFT結(jié)果一同顯示。

InfoCenter桌面應(yīng)用程序
InfoCenter桌面應(yīng)用程序在更新的應(yīng)用中提供與VibPlot相同的工具，還可上傳和顯示板載簡化數(shù)據(jù)集。

特性
軸
X、Y和Z
測量
頻率：DC至150Hz
振動：0.03g至2.00g（±0.01g）
電池/充電器
可充電LIMH電池組
先進電池充電電路
鋰電池提供靜態(tài)RAM備份——壽命長達10年（運行時間）
低電量感應(yīng)及警告指示器
數(shù)據(jù)分析類型
RMS
峰值
RMS和峰值
RMS、峰值和頻率
RMS、峰值、頻率、真實RMS和N
加速度計測試工具
用戶界面
2×16字符LCD
4鍵鍵盤
閃存PROM
存儲系統(tǒng)固件
可通過GCI提供的固件文件輕松升級
內(nèi)部microSD卡
存儲記錄會話
存儲容量支持?jǐn)?shù)百次（取決于記錄長度）帶時間戳的獨立記錄會話
RS-232接口
提供一個RS-232端口，用于將記錄數(shù)據(jù)下載至主機PC。