E84監(jiān)控系統(tǒng)、E84 PI/O監(jiān)控系統(tǒng)EMS、GCI EMS系統(tǒng)、getcontrol E84仿真器

E84監(jiān)控系統(tǒng)
EMS系統(tǒng)框圖
GCI公司E84 PI/O監(jiān)控系統(tǒng)（EMS）可同時對2至4個300mm裝載端口實現(xiàn)E84 PI/O信號跳變的實時監(jiān)控與存儲。

在晶圓廠內(nèi)，所有物料交接均通過E84握手協(xié)議控制。物料交接故障的排查與修復是晶圓廠中最耗時且成本最高的維護工作之一，而E84控制信號的詳細分析對確定交接故障的根本原因至關重要。

GCI EMS系統(tǒng)根據(jù)配置持續(xù)顯示并記錄2至4個裝載端口的E84信號狀態(tài)，將記錄數(shù)據(jù)按日生成日志文件，便于快速檢索特定交接記錄。強大的搜索功能可讓操作員列出指定時間段內(nèi)某裝載端口所有失敗的交接記錄。

系統(tǒng)特性
? 實時顯示2-4個裝載端口的E84信號跳變
? 將E84信號跳變記錄至每日日志文件
? 強大的日志搜索功能可定位特定E84交接序列的時序細節(jié)
? 通過區(qū)域摘要對單個E84交接序列進行詳細時序分析
? 日志文件回放分析模式
? 錯誤分析模式可定位日志文件中的失敗交接序列
? 耗時測量分析工具
? 縮放顯示分析工具
? 支持Windows位圖格式導出圖形界面
? 支持表格文本格式導出記錄數(shù)據(jù)
? 當與PC通信中斷時，E84事件將存入DLD設備的電池供電RAM

EMS實時顯示界面
實時查看E84信號跳變。默認EMS界面顯示2-4個裝載端口所有E84信號電平的實時狀態(tài)。當裝載端口無法進行交接時（HO_AVBL信號關閉），可選擇自動暫停實時顯示。

EMS搜索窗口
使用日志搜索功能查找特定E84交接嘗試。選擇日期時間范圍、目標裝載端口及交接類型（成功/失?。┖?，系統(tǒng)將顯示匹配的E84交接嘗試列表。選擇目標交接記錄后點擊”詳情”按鈕，即可查看詳細E84交接狀態(tài)（如下所述）。

EMS詳細狀態(tài)圖
通過日志搜索功能選擇E84交接序列后，可查看詳細時序信息。該界面顯示所選交接相關的所有E84事件，時序圖中標有E84-0304規(guī)范定義的邊界區(qū)域，并附含各區(qū)域起始時間戳與持續(xù)時間的邊界區(qū)域摘要。還可使用測量采樣工具進行附加時序分析。

系統(tǒng)組件
? 預裝E84監(jiān)控系統(tǒng)軟件的Windows XP專業(yè)版筆記本電腦
? 每個配置的裝載端口（2-4個）包含：

  • GCI數(shù)據(jù)記錄設備（DLD，型號GCI06001）

  • 5米GCI E84光纖收發(fā)器（型號GCI04002-5m）

  • 15英尺9針串口通信線（型號GC72802015）

  • USB轉串口轉換線（型號SW-1301）

  • PC Guardian防盜鎖（型號2900-95）

  • USB鼠標（型號X800898）
    ? 印刷版用戶手冊
    ? 系統(tǒng)備份安裝光盤


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