E84監(jiān)控系統(tǒng)、E84 PI/O監(jiān)控系統(tǒng)EMS、GCI EMS系統(tǒng)、getcontrol E84仿真器

E84監(jiān)控系統(tǒng)
EMS系統(tǒng)框圖
GCI公司E84 PI/O監(jiān)控系統(tǒng)（EMS）可同時(shí)對2至4個300mm裝載端口實(shí)現(xiàn)E84 PI/O信號跳變的實(shí)時(shí)監(jiān)控與存儲。

在晶圓廠內(nèi)，所有物料交接均通過E84握手協(xié)議控制。物料交接故障的排查與修復(fù)是晶圓廠中最耗時(shí)且成本最高的維護(hù)工作之一，而E84控制信號的詳細(xì)分析對確定交接故障的根本原因至關(guān)重要。

GCI EMS系統(tǒng)根據(jù)配置持續(xù)顯示并記錄2至4個裝載端口的E84信號狀態(tài)，將記錄數(shù)據(jù)按日生成日志文件，便于快速檢索特定交接記錄。強(qiáng)大的搜索功能可讓操作員列出指定時(shí)間段內(nèi)某裝載端口所有失敗的交接記錄。

系統(tǒng)特性
? 實(shí)時(shí)顯示2-4個裝載端口的E84信號跳變
? 將E84信號跳變記錄至每日日志文件
? 強(qiáng)大的日志搜索功能可定位特定E84交接序列的時(shí)序細(xì)節(jié)
? 通過區(qū)域摘要對單個E84交接序列進(jìn)行詳細(xì)時(shí)序分析
? 日志文件回放分析模式
? 錯誤分析模式可定位日志文件中的失敗交接序列
? 耗時(shí)測量分析工具
? 縮放顯示分析工具
? 支持Windows位圖格式導(dǎo)出圖形界面
? 支持表格文本格式導(dǎo)出記錄數(shù)據(jù)
? 當(dāng)與PC通信中斷時(shí)，E84事件將存入DLD設(shè)備的電池供電RAM

EMS實(shí)時(shí)顯示界面
實(shí)時(shí)查看E84信號跳變。默認(rèn)EMS界面顯示2-4個裝載端口所有E84信號電平的實(shí)時(shí)狀態(tài)。當(dāng)裝載端口無法進(jìn)行交接時(shí)（HO_AVBL信號關(guān)閉），可選擇自動暫停實(shí)時(shí)顯示。

EMS搜索窗口
使用日志搜索功能查找特定E84交接嘗試。選擇日期時(shí)間范圍、目標(biāo)裝載端口及交接類型（成功/失敗）后，系統(tǒng)將顯示匹配的E84交接嘗試列表。選擇目標(biāo)交接記錄后點(diǎn)擊”詳情”按鈕，即可查看詳細(xì)E84交接狀態(tài)（如下所述）。

EMS詳細(xì)狀態(tài)圖
通過日志搜索功能選擇E84交接序列后，可查看詳細(xì)時(shí)序信息。該界面顯示所選交接相關(guān)的所有E84事件，時(shí)序圖中標(biāo)有E84-0304規(guī)范定義的邊界區(qū)域，并附含各區(qū)域起始時(shí)間戳與持續(xù)時(shí)間的邊界區(qū)域摘要。還可使用測量采樣工具進(jìn)行附加時(shí)序分析。

系統(tǒng)組件
? 預(yù)裝E84監(jiān)控系統(tǒng)軟件的Windows XP專業(yè)版筆記本電腦
? 每個配置的裝載端口（2-4個）包含：

  • GCI數(shù)據(jù)記錄設(shè)備（DLD，型號GCI06001）

  • 5米GCI E84光纖收發(fā)器（型號GCI04002-5m）

  • 15英尺9針串口通信線（型號GC72802015）

  • USB轉(zhuǎn)串口轉(zhuǎn)換線（型號SW-1301）

  • PC Guardian防盜鎖（型號2900-95）

  • USB鼠標(biāo)（型號X800898）
    ? 印刷版用戶手冊
    ? 系統(tǒng)備份安裝光盤


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